晶圆光学检测算法是当前半导体制造中不可或缺的技术手段，它通过高精度的图像处理和深度学习模型，实现对晶圆表面缺陷的快速识别与分类，显著提高了检测效率和准确性。 在半导体制造过程中，晶圆的表面质量直接影响最终产品的良率和性能。传统的检测方法依赖人工目视或简单的光学成像，存在效率低、误判率高、难以适应复…