光学晶圆缺陷检测是半导体制造中不可或缺的一环，其核心在于通过高精度光学成像技术，快速识别晶圆表面的微小缺陷，从而提升产品良率与生产效率。目前，基于深度学习的光学晶圆缺陷检测系统已能实现自动化、高精度、高效率的检测，成为行业内的主流解决方案。 随着半导体工艺不断进步，晶圆尺寸增大、工艺复杂度提升，传统…